本网讯　“这台显微镜犹如‘诊断圣手’，任何芯片都能一目了然。”近日，经过一系列安装、调试、使用培训及参数核对后，花费400多万元引进的一台超高清电子显微镜正式入驻浙江大学绍兴微电子研究中心。今后，绍兴企业生产的集成电路产品，将可以得到更加精确的分析和“诊断”。

日前，记者来到位于绍兴集成电路产业园内的浙江大学绍兴微电子研究中心，在中心无菌实验室内，近距离了解了这台先进仪器，工程师正专心地在装置上做各种测试。“这种场发射扫描电子显微镜是电子显微镜的一种，具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。”浙江大学绍兴微电子研究中心副主任卢建红告诉记者，该仪器可利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察样本，获得忠实原貌的立体感极强的样品表面超微形貌结构信息。

据介绍，这台名为“蔡司GeminiSEM 300扫描电镜”的仪器具有出色的探测效率，能够实现亚纳米分辨成像，具有很高的表面细节信息灵敏度，对任意样品进行成像和分析时都具备更佳的灵活性，能有效提供精密的场发射扫描电子显微镜技术和方案。“目前在集成电路领域，普遍使用的最先进产品是3纳米，而这台仪器可以对最小0.8纳米的产品进行精确观察，作出失效分析。”卢建红说。

落户绍兴2年多来，浙江大学绍兴微电子研究中心依托浙江大学电气工程学院和信息与电子工程学院，在绍兴这片集成电路产业的新兴沃土上开展功率芯片和MEMS传感器两个方向的技术开发和转移、人才引进与培养、服务当地集成电路企业等合作项目。

“随着‘中芯’‘豪威’等龙头企业产能不断扩大，‘长电绍兴’投产在即，我市集成电路‘万亩千亿’平台发展正驶入快车道。”绍兴集成电路产业园管委会相关负责人表示，随着绍“芯”产业不断做大做强，很多企业需要配套分析和检测服务，“未来，会有更多‘高精尖’仪器引入绍兴，助力打造绍‘芯’高地。”