浙江晶盛机电股份有限公司签订集成电路用大尺寸硅单晶生长与加工技术研发项目；浙江美晶新材料有限公司将半导体石英制品开发项目收入囊中；浙江大学化学院聚合与聚合物工程研究所的ArF光刻胶成膜树脂开发、纳米核壳增韧机产业化项目签约落户浙江安诺芳胺化学品有限公司……10月15日，上虞区与浙江大学一批校地合作项目在杭州集中签约，其中3个为半导体项目。

先进材料是上虞区重点打造的四大战略主导产业之一，经过多年发展，逐步在金属新材料、先进高分子材料、半导体材料等领域确立国内领先优势，年产值突破1300亿元。作为先进材料核心板块之一，上虞半导体材料产业起步较迟，但发展迅猛，至今已集聚起以晶盛机电为“龙头”，中欣晶圆、安测半导体等为“龙身”的半导体材料产业集群。半导体材料成为上虞先进材料皇冠上的明珠，也是先进材料产业迈入2000亿元“俱乐部”的新引擎。

为加大技术攻关力度，加快科技成果转化，打造“中国半导体材料新高地”，上虞区围绕“一个优势产业对接一所具有强势学科的大学共建一所研究院”工作思路，深度对接高校。“截至目前，全区已集聚3所应用型大学、12家大学研究院、41家省级企业研究院、51家院士专家工作站。”上虞区科技局局长陆俊蔚说。

2023年6月，上虞区与浙江大学携手打造浙江大学上虞半导体材料研究中心，浙大杨德仁院士领衔的专家团队潜心半导体材料研发，攻克了5项“卡脖子”技术，助力晶盛机电迅速崛起。上虞区还和哈工大共建杭州湾集成电路IP工程中心等高能级创新平台。

晶盛机电原先是汤浦镇的一家小企业，在浙江大学帮助下，如今已成为国内行业领军企业。特别是和浙江大学上虞半导体材料研究中心共建“全省高性能硅材料装备重点实验室”后，围绕集成电路用晶体生长、磨削、抛光等硅材料设备关键技术开展研究与突破。“已成功开发12英寸直拉单晶硅生长自主数值模拟工具、硅片激光加工热流模型、8英寸集成电路区熔硅单晶‘应力—夹杂’模型等，一举成为全国校地合作的典范。”浙江大学副校长黄先海说。

在半导体材料产业链中，封装曾是一块短板。浙江阿司拼光电技术有限公司引进山东大学博士，在激光器芯片封装及应用产品研发上实现重大突破，在行业内逐渐显山露水。阿司拼光电还以商引商，成功引进安测半导体（绍兴）有限公司，进一步拉长了产业链。

值得一提的是，当日，全省高性能硅材料装备重点实验室在浙江大学上虞半导体材料研究中心正式授牌成立。“这将助力上虞半导体材料和装备领域，特别是硅材料、晶体生长设备取得领先优势，在国内半导体材料产业版图中占据重要一席。”上虞区政府相关负责人说。

（内容来源：绍兴日报）