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搭载磁传感器技术,芯片变得“耳聪目明” 浙大绍兴研究院研发成功具有自主知识产权的8寸新型磁传感芯片晶圆

2025-06-05 15:37

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近日,在越城区科学技术协会主办的“芯动未来 链创共赢”越城区集成电路产业链企业科协联盟成果转化对接会上,浙江大学绍兴研究院正式发布以“8寸新型磁传感芯片晶圆”为代表的科技成果。

“该产品可以显著提升分辨率、灵敏度,性能佳、成本低,目前已具备量产条件。”现场,研究院新型磁传感器芯片团队研发工程师曹静雯向与会人员推介了“8寸新型磁传感芯片晶圆”,该产品可广泛应用于智能家居、消费电子、汽车、航海交通、智能电网、工业自动化、国防军工等领域。

据介绍,磁传感器是一种重要的传感器门类,当磁传感器技术搭载芯片,就像为芯片安装了聪明的小脑袋,让其变得“耳聪目明”。它能将磁场、电流等因素作用下引起敏感元件磁性能的变化转换成电信号,以此来检测形成相应的数据,进而形成有效控制。

浙江大学绍兴研究院新型磁传感实验室负责人吴保磊深耕该领域已有十余年,在其带领下,研究院磁传感芯片研发团队通过制备工艺和器件设计优化,开发了具有自主知识产权的基于“自旋效应”的磁传感新技术,可感知位置、方向、速度、角度、电流等重要信息。为解决传统传感器体积大成本高的痛点,研发团队同客户共同开发基于新型技术的电流测量模组,目前已经进行到第三版。通过测试验证,电流测量灵敏度提升100倍,信号响应速度提升1个数量级,节省空间体积超过60%。“当芯片‘更灵更快更小’,在应用领域会更具备竞争力。”吴保磊表示。

8英寸芯片,即在直径为8英寸的半导体晶圆上制造的集成电路芯片,因其成本适中且能满足多种产品需求,在半导体行业中具有重要地位,在物联网、新能源汽车、电子通讯、工业控制等领域有广泛应用。近年来,集成电路领域主流的8英寸芯片或在材料、技术领域进行升级,生产出碳化硅芯片、磁传感芯片,或迭代成功能更强的12英寸芯片。

记者了解到,在现有基础上,浙江大学绍兴研究院信创分中心正在研究“多轴多感应”的磁传感芯片,有望在更大规模设备上发挥重要作用,助推越城集成电路产业更快发展。


作者: 编辑:严心愉

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