11幢厂房，加1幢“身姿挺拔”的研发办公楼，在皋埠街道漫池路、临江路交叉口，集成电路产业新高地呼之欲出。近日，中日韩半导体产业园迎来“成人礼”——竣工验收。

据了解，该产业园总投资10亿元，园区占地97亩，建筑面积13万平方米，这里的建筑整体看起来像是以方块堆叠起来的一样，厂房也装饰玻璃幕墙，看起来科技感十足。产业园主要招引半导体材料、装备、零部件领域的国产替代、日韩及欧美的成熟工艺企业入驻，目前已签约企业4家。

4层楼高的厂房，单层最高挑高达7米。园区根据实际需求出发，设计1500～6000平方米可分可合按需组合厂房，具备高层高、大柱距、宽跨度、高承重的优势，便于集成电路生产线布局。底层每平方米承重3吨，2～3层每平方米承重1吨，各类大型设备也可轻松“工业上楼”，起到集约土地的作用。

今年年初，中日韩半导体产业园成为市集成电路协会理事单位，随后集成电路电子信息企业团拜会在中日韩半导体产业园的组织下举行，汇聚了10多家企业。紧接着，园区积极参与芯联集成装备、零部件供应链大会，与250多家供应商们深入交流。近半年来，产业园还整合中日半导体产业资源，积极谋求跨国合作，参加了日本半导体产业峰会，组织了日本跨国公司与芯联集成的对接会，并迎来了多批次日韩专家团的访问。

产业园招商相关负责人朱海红告诉记者，芯片从制造到封装，几乎每一个环节都需要清洗以保证下一步不受杂质的干扰，同时，随着芯片体积缩小和性能优化，所需要进行的清洗次数也越来越多。据统计，清洗工艺的次数占到了整个制造工艺步骤的三分之一，是芯片制造的重要环节，也是保证良品率的关键环节。今年6月，芜湖芯通半导体材料有限公司与中日韩半导体产业园签署了战略合作协议，一期计划投资2500万元打造高端洗净工厂，致力于集成电路设备部件一体化表面处理。该企业是细分领域的龙头，与国内大型芯片企业长期合作。

前不久，绍兴发布集成电路产业质量强链“伙伴计划”，推动形成了以芯联集成、长电科技等企业为代表，带动设计、制造、封装、测试等产业链上下游企业协同发展的新格局。在打好“建链头部战”“强链集群战”“补链深耕战”的过程中，与中芯集成、长电绍兴等产业龙头相距不到1公里的中日韩半导体产业园提供了优质平台。朱海红表示，此次产业园的竣工验收不仅是项目的里程碑，也是区域内集成电路产业科技创新与产业协同合作的新起点。

（内容来源：绍兴日报）